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プロファイル |
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| 氏名・所属 |
横山 新■（よこやま しん）
yokoyama sxsys.hiroshima-u.ac.jp
■広島大学
■Research
Center for Nano-devices and Systems
■教授 |
| 略歴 |
| 1976. 3 . |
広島大学工学部電子工学科卒業 |
| 1978. 3 . |
広島大学大学院工学研究科電気工学専攻修士課程修了
（工学修士） |
| 1981. 3 . |
広島大学大学院工学研究科材料工学専攻博士課程後期修了
（工学博士） |
1982. 4.
~1983.3 . |
米国IBMワトソン研究センター 客員研究員
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| 1984. 11 . |
筑波大学物質工学系 講師 |
| 1989. 8 . |
筑波大学物質工学系 助教授 |
| 1989. 11. |
広島大学集積化システム研究センター 助教授 |
| 1994. 5 . |
広島大学集積化システム研究センター 教授 |
| 1998. 5 . |
組織改編に伴い広島大学ナノデバイス ･システム研究センター 教授 |
| 1998.5. |
広島大学大学院先端物質科学研究科 兼担 |
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| 所属学協会 |
応用物理学会、電子情報通信学会 |
| 世界水準の成果 |
シリコン窒化膜の原子層成長技術の開発とデバイス応用
(招待講演: 4th International Conference on Electronic Materials,
1998, Appl. Phys. Lett.)
光配線集積回路製作技術の研究
(招待講演: 1995 Intern. Res. Workshop
on Future Information Processing Tech.) |
| 産業界に貢献する研究成果 |
クリーン化機能を付与したウェハボックスの開発と性能評価 |
| 産官学連携 |
1994年度日米共同研究日本側代表「光・電子集積回路の設計・
製作に関する日米共同研究」 |
| 主な発表論文名 |
| 1. |
H. Goto,
K. Shibahara and S. Yokoyama, "Atomic Layer
Controlled Deposition of Silicon Nitride with
Self-limiting Mechanism": Applied Physics
Letters 68, No. 23, pp. 3257-3259 (1996). |
| 2. |
S. Yokoyama, J. Oogi,
D. Yui and M. Kawabe, "Low-Temperature Selective
Growth of GaAs by Alternately Supplying Molecular
Beam Epitaxy": J. Cryst. Growth 95, No.
1-4 pp. 32-34 (1989). |
| 3. |
S. Yokoyama, Y. Yamakage
and M. Hirose, "Laser-Induced Photochemical
Etching of SiO2 Studied by X-Ray Photoelectron
Spectroscopy": Appl. Phys. Lett. 47, No.
4 pp. 389-391 (1985). |
| 4. |
S. Yokoyama, D.W. Dong,
D.J. DiMaria and S.K. Lai, "Characterization
of Plasma-Enhanced Chemically-Vapor-Deposited
Silicon-Rich Silicon Dioxide/Thermal Silicon
Dioxide Dual Dielectric System": J. Appl.
Phys. 54, No. 12 pp. 7058-7065 (1983). |
| 5. |
S. Yokoyama, M. Hirose
and Y. Osaka, "Electron Spin Resonance in
Discharge-Produced Silicon Nitride": Jpn.
J. Appl. Phys. 20, No. 1 pp. L35-L37 (1981). |
| 6. |
S. Yokoyama, N. Kajihara,
M. Hirose, Y. Osaka, T. Yoshihara and H. Abe, "Characterization
of Plasma-Deposited Silicon Nitride Films":
J. Appl. Phys. 51, No. 10 pp. 5470-5474 (1980). |
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| 研究室ページ |
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| 個人ページ |
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COEメンバー