課題別成果報告 -詳細-
独立3ゲートSOIMOSトランジスタ開発及び立体チャネルデバイスのソース・ドレインシリサイド化プロセスの研究
奥山 清、松村俊平、吉川浩二、杉村 温、角南英夫
本研究では縦型受光デバイスの光/電子変換モデルを構築し、この応答を予測可能にすることを目的とした。このために受光デバイスの試作をナノデバイスシステム研究センターで実施し、レザーを用いた応答測定技術を開発した。本研究で開発した縦型光/電子応答モデルは測定値を十分に際限していることを確認した。また、試作の際に、横型デバイスの試作も行い、縦型に比べて高速な応答が実現できる見通しを立てた。
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