課題別成果報告 -詳細-

光インターコネクション集積化技術の研究
横山 新、田主裕一朗、鈴木昌人

　21世紀COEプログラムで実施した「モノリシック集積光配線LSI」に間する主な成果を説明する。電気光学・磁気光学効果を用いた小型のリング共振器型光スイッチを提案した。前段階として電気光学材料を用いたマッハツェンダー光モデュレータの低温(450℃)モノリシック集積とその動作確認に成功した。変調率は最大で10%、動作電圧は200Vと実用化には遠いが、今後デバイス構造と薄膜の結晶性改良により特性改善を図る。磁気光学効果光スイッチ、シリコンリング光スイッチおよび受光素子の研究成果についても述べる。