課題別成果報告 -詳細-

シリコンチップ内光配線のためのリング共振器型光スイッチ
田主裕一朗、横山 新

　シリコンチップ内光配線の実現に必要なモノリシック集積可能な高速小型光スイッチの候補であるリング共振 器型光スイッチについて研究した。電気光学材料を用いたリング共振器型光スイッチの動作速度および動作電 圧をシミュレーションにより見積もった。動作周波数は66GHz が期待され動作電圧はK(Ta,Nb)O3 とKH2PO4 を 用いれば0.70V となる。またシリコン窒化膜を用いてリング共振器を作製・評価し、導波路がマルチモードであっ ても良好な共振特性が得られることを明らかにした。